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日本ARK用于晶圓外圍器件曝光的UV-LED光源 光學測量儀

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更新日期:2024-03-23

簡要描述:

日本ARK用于晶圓外圍器件曝光的UV-LED光源EW01S
用于g線和i線光刻膠晶圓外圍曝光的UV-LED光源。

日本ARK用于晶圓外圍器件曝光的UV-LED光源 光學測量儀
產品種類臺式數顯功能
溫控功能產地進口

日本ARK用于晶圓外圍器件曝光的UV-LED光源EW01S

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用于g線和i線光刻膠晶圓外圍曝光的UV-LED光源。
它可以很容易地安裝在新設備中,也可以用目前使用的紫外燈光源代替。
UV-LED的安裝通過降低功耗,減少環境影響,延長光源壽命以及消除對任何機械消耗件的需求,極大地降低了客戶的運行成本。

日本ARK用于晶圓外圍器件曝光的UV-LED光源EW01S

規范

項目物質
工作環境溫度5~40°C(無冷凝。 )
電源電壓單相 100~240V
工頻50/60赫茲
發射峰值波長365±5納米
光輸出穩定性±5%以內
初始紫外線強度2000mW/cm2以上(AT365nm,距掩模0.5mm)
強度分布的均勻性10%以下(4×5mm面積)
紫外光源紫外發光二極管
紫外光源壽命20000,50 小時(估計使用壽命,最大驅動電流)* 紫外線強度為初始強度的 <>% 或更多時的照明積分時間
照射開/關功能紫外線 LED 開/關控制 (通過遠程和手動控制打開/關閉)
光強調節功能UV-LED電流調節 光強調節范圍 20~100%
外飾材料不銹的
外部尺寸150(寬)×200(深)×192(高)毫米



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