有機薄膜的厚度膨脹測量用-激光熱膨脹儀LIX-2系列

發布日期：2024-06-06      瀏覽次數：537

有機薄膜的厚度膨脹測量用-激光熱膨脹儀LIX-2系列

可以以最小分辨率 1 nm 檢測有機薄膜、低膨脹玻璃、金屬等厚度方向的微小熱膨脹。
測量熱膨脹的方法包括推桿法、光學干涉法、遙測法和電容器法。
它采用雙光路邁克爾遜激光干涉測量法，被認為是現有的精確的測量方法。
通過使用零摩擦平移鏡，只需將樣品端面加工成球面即可輕松進行測量。
此外，通過使用可選的石英墊片，可以在改變溫度的同時測量所需的薄膜厚度。LIX-2 雙路邁克爾遜激光干涉膨脹儀是業界的商用型號。

目的

• 有機薄膜的厚度膨脹測量

• 低膨脹玻璃高精度膨脹測量

• 低膨脹金屬材料的質量控制測量

• 密封劑膨脹的測量

• 各種電子元件的精密熱膨脹測量

• 標準膨脹計校準樣品的測量

特征

• 使用平行移動樣品架可實現穩定測量

• 超精密測量，讀數分辨率為 1nm

• 通過使用石英樣品，還可以測量厚度為50至500μm的薄膜和薄板的厚度方向。

標準

平行移動樣品架符合JISR3251-1995

規格

模型	LIX-2M	LIX-2L
溫度范圍	室溫～700℃	-150至200℃
樣本量	φ3~6mm x 長度10mm~15mm 長度方向兩端均為球面加工
測量氣氛	?真空中 ?低壓高純氦氣中
測量方法	雙光路邁克爾遜型激光干涉法

測量原理



公用事業

安裝占地面積	本體約寬2000mm x 深800mm
所需電源	主機 AC100V 15A（帶插座和接地） 2處
需要接地	D級（接地電阻100Ω以下）
冷卻水	自來水或蒸餾水3L/min以上，壓力0.15MPa以上

測量示例

零膨脹玻璃的測量結果




*經評估，所有產品在±150°C范圍內的熱膨脹系數均為10 -8 /K。